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电子束光刻
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著者
(美)布鲁尔(g.r.brewer)等著
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brewer
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上海市半导体器件科技情报协作网
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上海市半导体器件科技情报协作网编
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上海无线电十七厂
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上海无线电十七厂编
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中国科学院化学研究所
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中国科学院化学研究所《光致抗蚀剂》组编著
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布鲁尔
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杨树芬
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1977
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1.
电子束刻蚀技术
订购中
著者:
(美)布鲁尔(G.R.Brewer)等著
出版社:
国防工业出版社
出版日期: 1986.10
文献类型:
中文图书, 索书号:
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2.
光致抗蚀剂:光刻胶
订购中
著者:
中国科学院化学研究所《光致抗蚀剂》组编著
出版社:
科学出版社
出版日期: 1977
文献类型:
中文图书, 索书号:
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著者简介
3.
国外集成电路光刻制版自动化
订购中
著者:
上海市半导体器件科技情报协作网编
出版社:
上海科学技术情报研究所
出版日期: 1977
文献类型:
中文图书, 索书号:
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内容简介
著者简介
4.
光刻
订购中
著者:
上海无线电十七厂编
出版社:
上海人民出版社
出版日期: 1971
文献类型:
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