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著者

1. 《半导体器件制造技术丛书》编写组 (3)
2. 《半导体器件制造技术丛书》编写组编 (3)
3. 刘国维 (2)
4. 张光华 (2)
5. 谢孟贤 (2)
6. 谢孟贤,刘国维编 (2)
7. (美)格罗夫(a.s.grove)著 (1)
8. (英)加特(g.carter),(英)格兰特(w.a.grant)著 (1)
9. garter (1)
10. grant (1)
11. grove (1)
12. 《新技术译丛》编译组 (1)
13. 一机部机械工业自动化研究所情报室 (1)
14. 一机部机械工业自动化研究所情报室编印 (1)
15. 上海无线电十七厂 (1)
16. 上海无线电十七厂编 (1)
17. 中国科学院化学研究所 (1)
18. 中国科学院化学研究所《光致抗蚀剂》组编著 (1)
19. 中国科学院地球化学研究所 (1)
20. 中国科学院地球化学研究所编著 (1)
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出版日期

1. 1971 (3)
2. 1979 (3)
3. 1980 (3)
4. 1982 (3)
5. 1977 (2)
6. 1981 (2)
7. 1983 (2)
8. 1984 (2)
9. 1972 (1)
10. 1976 (1)
11. 1985 (1)
12. 1987 (1)
13. 不详 (1)
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文献类型

1. 中文图书 (25)
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语言种类

1. 汉语 (25)
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