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离子镀及溅射技术, 陈宝清主编

ISBN:
7-118-00577-0 价格: ¥7.35
语种:
chi
题名:
离子镀及溅射技术 / 陈宝清主编 ,
出版发行:
出版地: 北京 出版社: 国防工业出版社 出版日期: 1990.11
载体形态:
389页 20cm
摘要:
本书主要内容有:真空物理基础、真空蒸镀、真空溅射、离子镀、离子注入、金属表面性质、镀膜性能、沉积机理与组织结构、膜厚测量以及离子刻蚀和化学气相沉积等。
主题:
离子镀
主题:
溅射
中图分类:
TQ153 版次:
中图分类:
TG174.442 版次:
科图分类:
77.821 版次:
主要著者:
陈宝清 主编
索书号
TQ153/60
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限定所在馆: 限定所在馆藏地点: 限定馆藏状态:
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