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200|10|□a超大规模集成电子学□bYW□e微结构科学□h第3册□f杨-
   |  |沁清编译□Achao da gui mo ji cheng -
   |  |dian zi xue
210|  |□a北京□c科学出版社□d1987.8
215|  |□a275页□d19cm
330|  |□a介绍了集成电路工艺中精细图形的形成和转换技术。
517|1 |□a微结构科学□Awei jie gou ke xue
606| 0|□a超大规模集成电路□b电子学
690|  |□aTN47□v3
701| 0|□a杨沁清□4编译□Ayang qin qing
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