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抗蚀剂及其微细加工技术, 顾振军,孙猛主编 |
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ISBN:
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7-313-00617-9 价格： ￥6.50 |
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语种:
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chi |
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题名:
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抗蚀剂及其微细加工技术 / 顾振军,孙猛主编 , |
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出版发行:
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出版地： 上海 出版社： 上海交通大学出版社 出版日期： 1989.3 |
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载体形态:
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236页 26cm |
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摘要:
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本书以作为微电子器制造时的核心的抗蚀剂及其微细加工技术为对象,就其定义、沿革、工艺、反应理论、配套技术、各类抗蚀剂、分析测试及应用、展望等进行了全面详述。 |
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主题:
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集成电路-耐蚀材料 |
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主题:
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耐蚀材料-集成电路 |
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主题:
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集成电路工艺 |
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中图分类:
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TN405 版次： |
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中图分类:
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TQ047.6 版次： |
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主要著者:
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顾振军 主编 |
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主要著者:
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孙猛 主编 |
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索书号
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TN405/4 |
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标签:
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相关主题:
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相关资源:
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分享资源:
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限定所在馆:
限定所在馆藏地点:
限定馆藏状态:
HEA| |01326nam0 2200301 45 001| |0191009340 005| |1920010627164541 010| |□a7-313-00617-9□d￥6.50 100| |□a20010627d1989 em y0chiy0121 eb 101|0 |□achi 102| |□aCN□b310000 105| |□ay z 000yy 106| |□ar 200|10|□a抗蚀剂及其微细加工技术□f顾振军,孙猛主编□Akang - | |shi ji ji qi wei xi jia gong ji shu 210| |□a上海□c上海交通大学出版社□d1989.3 215| |□a236页□d26cm 330| |□a本书以作为微电子器制造时的核心的抗蚀剂及其微细加工技术为- | |对象,就其定义、沿革、工艺、反应理论、配套技术、各类抗蚀剂、- | |分析测试及应用、展望等进行了全面详述。 606| |□a集成电路-耐蚀材料 606| |□a耐蚀材料-集成电路 606| |□a集成电路工艺 690| |□aTN405 690| |□aTQ047.6 701| 0|□a顾振军□4主编□Agu zhen jun 701| 0|□a孙猛□4主编□Asun meng 801| 2|□aCN□bMT 905| |□aMT□fTN405/4□b0665702□t1610054□kj 908| |□a0080611□b128073□cMT□d0□e2□fT- | |N405/4□gMT□hyt□i□j6.5□k□l1□m□- | |n0□o平装□p1610053□q1990-01-01□r6- | |.5□t□u□v999_CN01□w1990-01-01□y订购□zyt 908| |□aM0080611□b1900017654□cMT□d□e- | |2□fTN405/4□gMT□hyt□i□j6.5□k□l- | |1□m□n□o平装□p□q1990-01-01□r□t□u□- | |v999_CN01□w1990-01-01□y□zyt