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200|10|□a电子束扫描曝光技术□f吴克华著□Adian zi shu-
   |  | sao miao pu guang ji shu
210|  |□a北京□c宇航出版社□d1985.6
215|  |□a424页□d19cm
330|  |□a从制作微电子器件出发, 介绍电子束扫描曝光技术的基本内容-
   |  |及其应用。
606| 0|□a曝光□b电子束
606| 0|□a电子技术□b电子束
690|  |□aTN405.7
690|  |□aTN305.7□v3
701| 0|□a吴克华□4著□Awu ke hua
801| 2|□aCN□bMT
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