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半导体化学清洗原理及应用, 刘秀喜著

ISBN:
价格: ¥1.50
语种:
chi
题名:
半导体化学清洗原理及应用 / 刘秀喜著 ,
出版发行:
出版地: 济南 出版社: 山东科学技术出版社 出版日期: 1985.2
载体形态:
263页 19厘米
摘要:
对半导体器件和集成电路生产中的化学清洗工艺。
主题:
半导体器件
主题:
集成电路
中图分类:
O649 版次: 2
中图分类:
TN305.2 版次: 3
主要著者:
刘秀喜
索书号
O649/6
标签:
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