名称: | |
描述: | |
公开/私有: | 公开 私有 |
国外集成电路光刻制版自动化, 上海市半导体器件科技情报协作网编 |
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ISBN:
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价格: ¥0.60 |
语种:
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chi |
题名:
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国外集成电路光刻制版自动化 / 上海市半导体器件科技情报协作网编 , |
出版发行:
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出版地: 上海 出版社: 上海科学技术情报研究所 出版日期: 1977 |
载体形态:
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68页 25cm |
附注内容:
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国内发行 |
附注内容:
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半导体器件生产自动化专辑 |
主题:
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集成电路 电子束光刻 |
中图分类:
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TN305.7 版次: |
团体著者:
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上海市半导体器件科技情报协作网 编 |
索书号
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TN305.7/2 |
标签:
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相关主题:
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相关资源:
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分享资源:
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