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硅化物及其在超大规模集成电路中的应用, (美)穆拉尔卡(S.P.Murarka)著

ISBN:
7-310-00046-3 价格: ¥1.30
语种:
chi
题名:
硅化物及其在超大规模集成电路中的应用 / (美)穆拉尔卡(S.P.Murarka)著 , 赵英译
出版发行:
出版地: 天津 出版社: 南开大学出版社 出版日期: 1987.6
载体形态:
192页 20cm
摘要:
本书较系统地介绍了各种硅化物,探讨了在超大规模集成电路中作为栅、内部互连线以及线的低电阻接触的可应用性,总结了取得的成果,提出了存在的问题和今后研究的方向。
主题:
硅化物 应用-超大规模集成电路
主题:
超大规模集成电路-硅化物 应用
中图分类:
TN47 版次: 1980
主要著者:
穆拉尔卡
主要著者:
Murarka
次要著者:
赵英
索书号
TN47/54
标签:
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